该晶圆产量制造商建在苏北地区划分,关键产量8英尺半导体技术晶圆,单日污水废气排缩量上涨约800吨。在产量期间中使用的海量氢氧化钠做好晶圆蚀刻,致使污河中氟化物浓度值多达200-300mg/L,远超国度废气排卸要求(10mg/L左右)。
废渣化学成分及特征
化工废水最主要的基以下三个方面:
晶圆蚀刻多种工序
:含高溶度氟化物(HF)、硝酸钠及大量高价属
药剂学自动化镜面抛光剂(CMP)废水处理工艺
:含纳米技术级硅粒状、有机质络合剂
生产设备擦洗废水处理方法
:含异丙醇、氟化物等设计物
正确处理工艺方案方案
使用"化学上悠长岁月中+水泥混凝土悠长岁月中+宽度脱水"3级处置操作系统:
三级治理
:加药系统氯化钙和氢被氧化钙,组成氟化钙石雕文化沉淀,氟化物避开率达85%
下级治理
:修改PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),避开溶液态感染物
一级进行处理
:按照多物质净化器和亲水性炭吸附性,出水量氟化物盐浓度比较稳定在8mg/L以內
首要仪器其中包括:pH自动化可以调节模式、斜管沉淀物中池、板框设备(生活污水过滤)。
以后的效果
項目操作两年监测站数据源表明:
氟化物均匀溶度:7.2mg/L(降至國家标准)
COD祛除率:92%
飞灰含水量率:≤65%
年灵活运用氟化钙副品牌约150吨,完成影视秸秆综合灵活运用灵活运用