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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

大型项目背景图 某大中型光电器件打造单位靠近长半圆东南部,首要制造晶圆和处里器。在制造过程中中,晶圆水刀切割和拋光关键期所产生很大磨研液污废水 ,日访问量摆缩量上涨约50吨。根据污废水 中包含的高溶度飘浮物、合金材料正离子及巧妙修改剂,之间摆放会对生态会导致为严重废弃物,单位现需发展正规处里设备。 废液组成成分及源头 打磨液废水处理工艺基本来历于晶圆粗加工中的有机化学自动化机械镜面抛光(CMP)工作,基本严重污染分为: 自动隐藏粒子物 :二腐蚀硅、腐蚀铝等研磨机颗粒肥料,孔径在0.1-1μm,浓硫酸浓度敢达2000mg/L。 金属材料阴离子 :铜、铁、锌等,来源cnc精密机械加工垫变形及晶圆表面能彩石层,铜铝离子密度约50mg/L。 无机增添剂 :包涵外观抗逆性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 酸碱平衡性化学物质 :pH值下降大,一般而言在2-11期间。 处置制作工艺具体步骤 重要性污水形态,利用“预加工+血生化+层次加工”搭配组合工艺设备: 上下调整池 :均匀水硬度发电量,生成酸碱性调控pH至碱式盐。 混泥土积累 :加药系统PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),避开飘浮物和电解质溶液,沉降后SS避开率>90%。 催化剂的作用钝化 :进行Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料无机调用剂,COD出掉率达60%。 生物技术整理 :MBR膜菌物表现器进1步化学降解超过无机物,COD高于100mg/L下列。 阴离子交互 :常用环氧树脂吸附物铜铁离子,满水后铜含铁<0.5mg/L。 砂滤+吸附性炭油烟净化器 :确认留水纯净,符合《把污水综合管理废气废水排放细则化》(GB8978-1996)6级细则化。 既定特效 软件正常运作比较稳定后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。 回收率达40%,剩下及格排污,年变少废液排污1.6万吨。 治理 价格约15元/吨,远大于服务行业评均。

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